材料内部缺陷有大有小，目前工业探伤所能发现的缺陷尺寸在500微米左右，要想观察到更为细小的缺陷，只能通过破坏的方法做金相或者电子扫描显微镜，仅仅能观察到特定的表面缺陷情况，无法识别出样品中整个体积内的缺陷。同时常规超声由于分辨率的原因还存在对较薄材料难于检测的缺点。
超声波显微镜
超声波显微镜是一款工作频率高达2GHz，重复扫查精度高达±0.1微米的高精度C扫描设备。由于工作频率高，其分辨率好，能够检测更小的缺陷和更薄的工件。可实现A/B/C/D等多种方式的扫描成像。能够清晰地展示出工件内部缺陷情况，能检出的缺陷尺寸较小可达10微米。
超高的频率配合微小的点聚焦，通过相位分析和幅值进行缺陷识别。超声波显微镜可以实现如下功能：
1）材料内部分层及夹杂物缺陷。
2）材料内部裂纹。
3）材料内部气孔、空洞、间隙等。
4）材料内部杂质颗粒、夹杂物和沉淀物。
5）材料的密度及晶格分布
超声波显微镜特点有：
1，声程传播方向精度为ns，换算为长度单位约为6μm。
2，可实现工件分层扫描，准确确定缺陷所在位置（三维位置）。
3，准确聚焦到目标位置，缺陷具备较高检测灵敏度。
4，高精度重复定位精度，缺陷波形可重复出现。
5，超高分辨率，具备显微放大作用，可获得局部放大图像。
